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大型リッド(蓋)開閉装置 (大型液晶パネル製造装置用)
大型リッド(蓋)開閉装置 (大型液晶パネル製造装置用)

G8(縦:2200×横:2400mm)サイズ液晶ガラス基板製造装置用のリッド(蓋)開閉装置で昇降、スライド、反転の機能を有しています。

 
 
FPD基板搬送装置
FPD基板搬送装置

液晶検査装置用ロード/アンロード装置です。カセットに収納された液晶基板を、直行座標系(X、Y、Z、Θ軸)のロボット制御により、一枚づつ取り出し、基板のアライメント後、光学系の検査(欠陥測定)装置に搬送します。検査後、基板をカセットに戻します。基板サイズは、G3.5(620mm×750mm)に対応します。

 
 
FPD基板搬送冶具
FPD基板搬送冶具

液晶パネル用ガラス基板搬送冶具。
基板サイズG7(1870mm X 2200mm)に対応。

 
 
WAFER FOUP カセット搬送装置
WAFER FOUPカセット搬送装置

半導体工場内の工程間搬送を行う中間ロード/アンロード装置です。AGV、PGVにより供給されたフープカセットを各工程や中間ストッカへ入出庫、またOHTの各ステーションでも入出庫する装置です。

 
 
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